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德国MLase准分子激光器MLI-500，ArF、KrF光源光刻机专用激光器
MLI 系列由具有直接波长的准分子激光器组成，适用于工业应用。当然，我们可以调整我们的基本设备以满足您的个性化需求。
MLase 的现代紧凑型 MLI 准分子激光器是波长为 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，具有高达 16 mJ 的高脉冲能量和高达 1,000 Hz 的脉冲重复频率。
它们是市场上使用寿命最长、可靠性、运营成本低的独立设备。它们均匀的钢型材和能量稳定性使它们非常适合要求苛刻的应用。
我们的LC准分子激光系统还能够进行主动水冷却（使用生活用水或外部热交换器；无需纯净水），以实现稳定的连续运行。
常用型号：
MLI-200
MLI-500
MLI-1000
参数介绍：
|
参数 |
ArF |
ArF |
ArF |
KrF |
KrF |
KrF |
|
波长（纳米） |
193 |
193 |
193 |
248 |
248 |
248 |
|
脉冲重复频率（赫兹） |
200 |
500 |
1000 |
200 |
500 |
1000 |
|
稳定的脉冲能量 （mJ） |
6 |
6 |
6 |
10 |
10 |
10 |
|
稳定平均功率 （W） |
1,2 |
3,0 |
6,0 |
2,0 |
5,0 |
10 |
|
脉冲稳定性（标准偏差%） |
2 |
2 |
2 |
2 |
2 |
2 |
|
光束宽度（FWHM，VxHmm） |
6×3 |
6×3 |
6×3 |
6×3 |
6×3 |
6×3 |
|
光束发散（FWHM，VxHmm） |
2×1 |
2×1 |
2×1 |
2×1 |
2×1 |
2×1 |
|
脉冲长度 |
5-10 |
5-10 |
5-10 |
5-15 |
5-15 |
5-15 |
德国MLase准分子激光器MLI-500，ArF、KrF光源光刻机专用激光器
